场发射扫描电子显微镜（FESEM）

发布时间：2018-11-27     作者：[科学研究院]张帅    阅读：405次

设备型号：

Supra 55

性能指标：

电镜：1）分辨率：0.8 nm @ 15 kV; 1.6 nm @ 1 kV; 4.0 nm @ 0.1 kV；2）放大倍数：12–1000000 x；3）加速电压：0.1–30 kV。

能谱仪：1）分辨率：Mn–Kα 优于129 kV；2）探测元素范围：Be(4)–U(92)。

EBSD：1）空间分辨率：100 nm @ 20 kV；2）平均角偏差＜0.5°。

阴极发光探测器：1）配合场发射扫描电镜，可获得样品的真彩色阴极荧光图像；2）具有数字扫描电子束控制系统DigiScan II；3）探测波长范围：400–800 nm。

主要功能：

扫描电镜广泛用于各种领域，在地学中可用于矿物、岩石的微区形貌和微区成分分析。其中微区成分分析包括快速多元素的点分析、线扫描和面扫描分析。