高精度镀膜仪

发布时间：2018-11-27     作者：[科学研究院]张帅    阅读：10次

设备型号：

EMACE 600

性能指标：

1）溅射工作真空范围：5 × 10–3 mbar 到5 ×10–1 mbar；

2）溅射电流：0–150 mA；

3）溅射时间：可预设溅射时间，一次真空条件下总溅射时间可设置长达60分钟；

4）蒸发电流：1–75 A。

主要功能：

具有在样品表面镀碳或铂金的功能，用于为SEM/EDS微区成分分析的样品镀碳膜和铂金膜，消除电镜观察过程中样品表面的电荷积累。