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仪器设备
697 Ilion II Datasheet 宽束氩离子抛光系统
2018-11-27 发布：[科学研究院]张帅
设备型号：The Ilion+ II 697
性能指标：
（1）离子枪：两个配有稀土磁铁的三元构造（阴极、阳极与聚焦极）离子枪，聚焦离子束设计，高性能无耗材；
（2）抛光角度：+10°至–10°，每个离子枪可独立调节；
（3）离子束能量：0.1–8.0 kV；
（4）离子束流密度：10 mA/cm2 峰值；
（5）抛光速度：硅，300 μm/h。
主要功能：氩离子抛光系统是一个用于样品的截面制备及平面抛光的桌面型制样设备。对样品表面进行抛光，去除损伤层，从而得到高质量样品，用于在SEM上进行成像、EDS、EBSD、CL或其它分析。
