高精度镀膜仪

2018-11-27          发布：[科学研究院]张帅

设备型号：EMACE 600

性能指标：

       （1）溅射工作真空范围：5 × 10^–3 mbar 到5 ×10^–1 mbar；

　　（2）溅射电流：0–150 mA；

　　        （3）溅射时间：可预设溅射时间，一次真空条件下总溅射时间可设置长达60分钟；

　　（4）蒸发电流：1–75 A。

主要功能：具有在样品表面镀碳或铂金的功能，用于为SEM/EDS微区成分分析的样品镀碳膜和铂金膜，消除电镜观察过程中样品表面的电荷积累。